電子級硫酸的產業鏈

2014年10月16日
      電子級硫酸的主要原料是工業硫酸,工業硫酸一般是微黃色黏稠液體,內含大量金屬雜質離子和二氧化硫、亞硫酸根、有機物等。硫酸素有工業之母之稱,與磷肥工業息息相關,我國95%以上的磷肥以硫酸為原料,磷肥生產耗用了硫酸產量的70%,因此,硫酸產品關系到國家的糧食安全。同時,硫酸還廣泛用于石油化工、輕工、紡織、醫藥、鋼鐵、有色等行業。硫酸工業總產值雖然在GDP中所占比重不大,但是影響面很大,硫酸工業的穩定健康發展對于我國的農業和整個國民經濟具有重要意義。

  電子級硫酸主要應用于電子硅晶片生產過程的清洗和蝕刻。硅圓片在加工過程中,常常會被不同的雜質所沾污,可引起IC產率下降50%左右。硅圓片上不溶性固體顆;蚪饘匐x子可能在微細電路之間導電,使之短路,幾個金屬離子或灰塵足以使線寬較小的IC報廢。Na、Ca等堿金屬雜質會融進氧化膜中,導致耐絕緣電壓下降。當硅圓片表面附著有Cu、Fe、Cr,Ag等重金屬雜質時,會使P—N結耐電壓降低,影響IC電性能。硼、磷、砷等雜質離子會影響擴散劑的擴散效果,塵埃顆粒會造成光刻缺陷,氧化層不平整,影響制版質量和等離子蝕刻工藝。為了獲得高質量、高產率的集成電路芯片,必須除去各種沾污物。這就需要使用非常純凈的化學試劑來清洗硅圓片。

  一定比例的電子級硫酸和電子級雙氧水、鹽酸、硝酸、磷酸、乙醇、氨水可產生各種用途的微電子、醫藥、食品加工試劑。
來源:韶關高科祥高新材料有限公司
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